Bomba de levitación magnética, CXF-320 / 3001E, refrigeración por agua, ISO-F, a bordo

Breve descripción:

El rodamiento electromagnético también se denomina "osos levitados magnéticos activos" y consta de un rodamiento magnético, un sensor y un sistema de control. Este diseño tiene una respuesta dinámica y un ajuste oportuno, el eje de alta velocidad y un funcionamiento confiable.


Detalle del producto

Etiquetas de productos

Las bombas moleculares de levitación magnética son bombas cuyo eje se apoya en virtud de la fuerza magnética.
Las bombas moleculares de levitación magnética de la serie son equipos de generación de vacío desarrollados por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, fabricación de chips, enchapado industrial e instrumentos científicos.

Ventajas:

1. Cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía
2. Fácil de adquirir alto vacío realmente limpio y ultra alto vacío sin lubricación para bombas
3. Capaz de extraer gases corrosivos a largo plazo
4. Alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de los rodamientos con bolas de cerámica de precisión.
5. función de generación de energía en caso de apagado repentino
6. Libre de fricciones
7. Libre de contaminación
8. Libre de mantenimiento
9. Baja vibración
10. instalado en cualquier orientación.

Aplicaciones:

Las bombas moleculares de levitación magnética en serie se aplican principalmente a los campos de la fabricación de semiconductores, fabricación de clips, enchapado industrial e instrumentos científicos, especialmente a la extracción de gases corrosivos existentes en grabado, CVD, PVD e implantación de iones y gases fácilmente coagulables a temperatura normal.

Especificaciones:

Modelo CXF-320 / 3001E
Velocidad de la bomba (l / s, aire) 3200
Índice de compresión > 1 × 108
Vacío máximo (Pa) ≤5 × 10-7
Brida de entrada ISO-F 320
Brida de salida KF 40
Velocidad de rotación (rpm) 24000
Tiempo de ejecución (min) 12
VIB (mm) <0,05
Bomba de respaldo (L / s) 15
Montaje o orientación Ninguna
método de enfriamiento Agua
Peso (kg) (con controlador) 75

Tecnologías:

  • Tecnología de control para cojinetes magnéticos: un 5 ejes levitado magnéticamente, basado en la teoría de control internacional avanzada, para garantizar ventajas tan significativas de los ejes de alta velocidad como una operación estable de levitación y confiable.
  • Tecnología de control de accionamiento del motor: Motor de CC de alta velocidad de alta eficiencia y sistema de servocontrol, que tiene la máxima energía del motor y para compensar la velocidad de rotación del eje automáticamente, logrando así un arranque estable, operación confiable y función de regulación automática de energía dinámica.
  • Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono: Fabricado con una combinación de aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. caracterizados por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, por lo que se alcanzan objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
  • Tecnología resistente a la corrosión: Las superficies de las piezas en las cámaras se tratan con un proceso especial, de modo que las superficies pueden resistir la corrosión causada por gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, los gases inertes como el N2 se llenan completamente en los ejes de las bombas para proteger las partes de bajo vacío en las bombas, de modo que se realiza la función de expulsar de manera estable los gases corrosivos durante períodos prolongados.
  • Sistema de control de temperatura de calefacción: equipado con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, el agua de refrigeración, el calentamiento de aire-hueso, el calentamiento eléctrico y el calor transportado por los gases protectores se pueden monitorear y controlar durante el funcionamiento, la temperatura en las bombas se puede mantener en algún valor a largo plazo, algunos gases las sustancias no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir los requisitos para procesos especiales como el grabado.

  • Anterior:
  • Próximo:

  • Escriba aquí su mensaje y envíenoslo

    Categorías de productos